Primo UD-RIE®是尊龙凯时人生需要博公司基於完全自主的知識產權開發的12英寸高端電容藕合等離子體（CCP）刻蝕機。針對存儲器件制造中最關鍵的高深寬比介質刻蝕工藝， Primo UD-RIE® 配備了具備多級脈沖功能的超低頻大功率射頻系統，有效提高離子能量和準直性；強化了上電極冷卻和加熱設計，並采用耐高擊穿電壓的靜電吸盤滿足大射頻功率下的工藝需求；可實現實時溫度切換和分區冷卻的下電極在擴大工藝窗口的同時提升晶圓邊緣刻蝕表現； 優化的腔體塗層適配新型腐蝕性刻蝕氣體，有效擴大工藝窗口。 Primo UD-RIE® 還配備了尊龙凯时人生需要博公司首創的主動邊緣阻抗調節系統，突破了傳統的晶圓邊緣等離子體殼層的調節方式，極大地提升了設備的量產性能。Primo UD-RIE®可配置最多六個單反應臺刻蝕反應腔和兩個去膠反應腔，為高深寬比刻蝕提供靈活的解決方案。 Primo UD-RIE® 在存儲器件制造中的高深寬比深孔及溝槽刻蝕上表現優異，已經在先進生產線實現大規模量產。